超高真空分子束外延-低温扫描隧道显微镜联合系统
日期:2022-04-27作者:来源:访问次数:

 

设备简介:

型号:UHV MBE-LT STM

生产厂家:德国/CreaTec公司;仪器组成:真空泵组、进样室、制备室、扫描室、控制系统、低温杜瓦、减震台等。

仪器主要用途:

1.利用分子束外延技术进行高质量薄膜样品的制备。

2.利用STM技术对样品表面进行原子级分辨的结构表征。

3.利用STS技术对样品表面的电子态等进行局域表征。

4.利用Qplus-AFM技术对表面分子的化学键进行直接成像。

主要规格及技术指标:

1.样品台液氮冷却模块,使用液氦时样品台温度低于30 K,使用液氮时温度低于100 K

2.具备直接给样品加热,电子束加热两种加热方式,当用电子束加热样品台时,温度可达到1800 K

3.反射式高能电子衍射,Staib RHEED 15,能量范围: 500 eV-15 keV,束大小: 60 μm,束电流:80 μA

4.超高真空低温扫描隧道显微镜,XY方向分辨率:室温下优于0.05 nm5 K下优于0.01 nmZ方向分辨率:室温下优于0.02 nm5 K下优于0.01 nm,扫描头能量分辨率好于0.1 meV,最小隧穿电流小于100 fA

5.用于4电极样品托的样品台,稳定性:77 KXY方向的漂移小于0.5 nm/hour5 K小于0.2 nm/hour

6.样品解理器,NW 40 CF法兰,插入深度为240 mm

 

 

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